白光干涉儀是一種新型的表面形貌測量方法，能夠實現對樣品表面形貌的三維測量。它通過掃描定位被測樣品表面各點的較佳干涉位置得到表面各點相對高度，重構表面三維輪廓，實現對樣品表面三維形貌的測量。
白光干涉儀的原理：
用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
專用于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸，其測量精度可以達到納米級！目前，在3D測量領域，是精度最高的測量儀器之一。
白光干涉儀由以下及部分構成：
光學照明系統，采用鹵素光源。光學成像系統采用無限遠光學成像系統，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統由壓電陶瓷以及控制驅動器構成，采用閉環反饋控制方法，可精密驅動顯微物鏡上下移動。
信號處理系統信號處理系統是該儀器的核心部分，由計算機和數字信號協處理器構成。
利用計算機采集一系列原始圖像數據。然后使用專用的數字信號協處理器完成數據解析作業。應用軟件應用軟件主要由操作控制部分，結果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。
同時，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結果。并可對測量結果作進一步的修正處理。
